世界著名品牌雷尼紹激光干涉儀在精密機(jī)床檢測(cè)中起到重大作用，對(duì)于一臺(tái)CNC精密機(jī)床，自動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)工作臺(tái)可用于測(cè)量轉(zhuǎn)動(dòng)X、L、Z軸。用兩個(gè)單光束激光頭、兩個(gè)平面鏡標(biāo)靶以及快速界面卡，一次設(shè)置就可以測(cè)量圓和非圓的軌跡。同時(shí)還可以測(cè)定實(shí)際的進(jìn)給率及加速度。其精確穩(wěn)定的激光源和準(zhǔn)確的環(huán)境補(bǔ)償，保證了±0.5 ppm的線性測(cè)量精度。其可以高達(dá)50 kHZ頻率讀取數(shù)據(jù)，最高線性測(cè)量速度可達(dá)4 m/s，即使在最高速度下線性分辨率仍可達(dá)1 nm。所有測(cè)量選項(xiàng)（不只是線性）均采用干涉法測(cè)量，使您對(duì)記錄數(shù)據(jù)的精度有信心。